E06300 - SEMI E63 - 300 mmボックスオープナ／ローダーと装置間のスタンダード（BOLTS-M）インタフェースの機械的仕様 StdVol-Facilities SEMI E121 — Guide for

SEMI E121 — Guide for Style & Usage of XML for Semiconductor Manufacturing Applications

表面に存在する静電気電荷は，半導体製造環境の中で多くの望ましくない効果を引き起こす｡

5  The Standard includes practical methodologies of flux

NOTICE: Unless otherwise indicated

本文書の目的は，半導体産業で使用される水酸化ナトリウム（固体）に対する要求条件を標準化し，またこれらのスタンダードをサポートする試験手順を標準化することである。試験方法は，統計的に有効な結果を示している。SEMI C1の通り代替法の妥当性が確認されたなら，それを使用してもよい。

E06300 - SEMI E63 - 300 mmボックスオープナ／ローダーと装置間のスタンダード（BOLTS-M）インタフェースの機械的仕様 StdVol-Facilities SEMI E121 — Guide forglobal Physical Interfaces & Carriers Committee2010827global Audits and Reviews Subcommittee201010 www. semi. org1997200411 300 mm1SEMI E15. 1SEMI E47. 1, SEMI E62SEMI E1. 91325 Referenced SEMI Standards SEMI E1. 9 Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers SEMI E15 Specification for Tool Load Port SEMI E15. 1 Specification for 300 mm Tool Load Port SEMI E19 Standard Mechanical Interface (SMIF) SEMI E47. 1