F03800 - SEMI F38 - ユースポイントガスフィルタの効率資格付けを目的とした試験方法 StdPbc-0613 2 dichloroethylene used in the

2 dichloroethylene used in the semiconductor industry

All liquid chemical standards consist of guidelines

本スタンダードは，global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年8月27日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年10月にwww

帯電したウェーハやレチクルの表面は微粒子を吸着（静電気吸着，ESA： electrostatic attraction）し，不良率を増やす｡

This method was technically approved by the global Flat Panel Display Committee and is the direct responsibility of the Japanese FPD Materials and Components Committee

F03800 - SEMI F38 - ユースポイントガスフィルタの効率資格付けを目的とした試験方法 StdPbc-0613 2 dichloroethylene used in theglobal Gases Committee2011513global Audits and Reviews Subcommittee20116www. semiviews. org www. semi. org19996200411 : POU Referenced SEMI Standards None.