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この仕様書は，センサ／アクチュエータ／コントローラ機器が，制御機器の一部としてどのようにMECHATROLINKの公開通信仕様の§4で定義される仕様に対応するかを規定する。
1-0306 (first published)
SEMI E23-1104 (Reapproved 0710)
本方法で試験する融着接合部は，PFA融着継手でできている。
but in this case
F01200 - SEMI F12 - フッ素樹脂製フィッティングの熱サイクル負荷後のシール性能決定の試験方法 Revision:SEMI F12-0998 - Inactive この仕様書は，センサ／アクチュエータ／コントローラ機器が，制御機器の一部としてどのようにMECHATROLINKの公開通信仕様の§4で定義される仕様に対応するかを規定する。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.
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US$ 64.99
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